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线接触联动薄膜压力敏感芯片结构分析
张志浩, 赵宏建, 王健行, 揣荣岩
Analysis of Line contact linkage film capacitive pressure-sensitie chip
ZHANG Zhihao, ZHAO Hongjian, WANG Jianxing, CHUAI Rongyan
微处理机 . 2025, (4): 53 -58 .  DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2025.04.010

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