基于AlN/BN/蓝宝石的高声速SAW滤波器

王美涵, 刘璐, 杨露露, 梁红伟

微处理机 ›› 2026, Vol. 47 ›› Issue (3) : 32-37.

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微处理机 ›› 2026, Vol. 47 ›› Issue (3) : 32-37. DOI: 10.3969/j.issn.1002-2279.2026.03.005
研究

基于AlN/BN/蓝宝石的高声速SAW滤波器

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High-speed surface acoustic wave filter based on aluminum nitride/boron nitride/sapphire

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